铁电薄膜存贮器及其疲劳机制的研究和进展

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主要讨论了铁电薄膜用于研制铁电存贮器的进展情况,探讨了目前围绕电极、空间电荷、畴钉扎、应力和微结构等几个方面对铁电薄膜存贮器疲劳特性的影响,论述了铁电薄膜存贮器的研究现状和存在的一些问题 The progress of the ferroelectric thin film for the development of ferroelectric memory is mainly discussed, and the impact on the fatigue property of the ferroelectric thin film memory is discussed in the current aspects of the electrode, space charge, domain pinning, stress and microstructure , Discusses the research status and some existing problems of ferroelectric thin film memory
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