【摘 要】
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据根金属─半导体─金属（ＭＳＭ）光电探测器内的能带结构以及热电子发射与扩散理论相结合的模型，导出了ＭＳＭ光电探测器暗电流的计算公式，并用数值计算方法分析了不同距离（Ｌ）和不同掺杂浓度（ＮＤ）与暗
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据根金属─半导体─金属（ＭＳＭ）光电探测器内的能带结构以及热电子发射与扩散理论相结合的模型，导出了ＭＳＭ光电探测器暗电流的计算公式，并用数值计算方法分析了不同距离（Ｌ）和不同掺杂浓度（ＮＤ）与暗电流的关系，为设计低暗电流ＭＳＭ光电探测器提供了依据。
According to the band structure in the root-metal-semiconductor-metal (MSM) photodetector and the model of the combination of the theory of thermionic emission and diffusion, the formula of dark current in MSM photodetector was deduced and the numerical calculation method was used to analyze the different distances (L) and different doping concentration (ND) with the dark current, provided the basis for designing a dark current MSM photodetector.
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