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通过LIGA技术与微细电火花技术相结合，可以在硬质合金、不锈钢等材料上加工出微结构，这一新的方法必将拓宽微细加工的能力和应用范围。利用LIGA技术制备线宽70μm、厚度达730μm的铜工具电极，采用微细电火花技术在不锈钢片上加工出线宽90μm、具有复杂形状的微结构。
LIGA和微细EDM技术制造不锈钢微结构的研究
【摘 要】
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通过LIGA技术与微细电火花技术相结合，可以在硬质合金、不锈钢等材料上加工出微结构，这一新的方法必将拓宽微细加工的能力和应用范围。利用LIGA技术制备线宽70μm、厚度达730μ
【机 构】
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中国科学院高能物理研究所,北京市机电研究院
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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2002年2期
【基金项目】
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中国科学院知识创新工程资助项目 (U - 5 16 - 5 ) ,,北京市自然科学基金资助项目 (30 2 2 0 0 5 )
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