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从标量衍射理论出发，在傅立叶光学的基础上，建立一个数学模型，分析台阶侧壁倾斜对多阶菲涅耳透镜衍射效率的影响。并通过实验，分析影响台阶侧壁倾斜、表面粗糙度和刻蚀速率的因素，确定离子束刻蚀菲涅耳透镜的最佳工艺参数。
离子束刻蚀过程中台阶侧壁倾斜现象研究
【摘 要】
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从标量衍射理论出发，在傅立叶光学的基础上，建立一个数学模型，分析台阶侧壁倾斜对多阶菲涅耳透镜衍射效率的影响。并通过实验，分析影响台阶侧壁倾斜、表面粗糙度和刻蚀速率的因素
【机 构】
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中国科学院长春光机所应用光学国家重点实验室
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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2000年2期
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