单晶硅相关论文
单晶硅是半导体工业技术发展的核心,广泛应用于集成电路制造业,其表面质量对半导体器件的性能有重要的影响。化学机械抛光（CMP）技术......
本文介绍了一种光伏光热联合布置的节能增效技改方案，根据项目背景以及方案系统整体设计目标、设备选型，确定固定式太阳能真空管和固......
单晶硅是一种典型的硬脆光学材料,具有纯度高、密度小、热传导性好、热膨胀系数低等一系列优点,在微机电系统、集成电路、高能激光......
单晶硅在常规车削过程中难以实现高质量表面加工,具有高脆性和低韧性的特点。传统加工方式效率低,容易产生表面及亚表面裂纹。激光......
以激光辅助条件下单晶硅的金刚石车削为对象，建立了激光辅助加热的温度场模型，利用COMSOL软件模拟得到单晶硅表面及亚表面的温度场分......
基于分子动力学，利用LAMMPS和OVITO软件对单晶硅纳米切削过程进行模拟，研究了V形微沟槽结构对金刚石刀具切削性能的影响。结果表明，在......
针对目测法无法及时发现直拉单晶硅在等径生长阶段发生的掉苞问题，提出一种基于ISOMAP-DE-SVM的掉苞预测模型，可以在掉苞现象发生之......
在对材料的微/纳米级表层压痕硬度测试中,压痕周围出现的凸起对硬度的计算结果有很大的影响。采用压痕功法,通过载荷-压深曲线直接......
以P型单晶硅太阳能电池制绒为研究对象，研究应用3D电子显微镜观察、反射率分析、电性能分析等方法，揭示不同制绒工艺参数下单晶硅绒......
采用银金属催化化学腐蚀（Ag-MCCE）技术在碱腐蚀的金字塔微米初级绒面结构上制备均匀的纳米次级绒面结构，并研究银纳米颗粒在微米金字......
单晶硅由于良好半导性能及红外光谱特性,使其广泛应用于集成电路及红外光学系统中。高质量表面及无亚表面损伤的硅晶片需求日益增......
激光诱导周期性表面结构是一种发生在激光与物质相互作用过程中的现象,在线性偏振激光辐照下的金属、半导体以及介电材料表面均有......
学位
单晶硅由于其独特的物理化学性质,在集成电路（IC）、微机电系统（MEMS）、先进的红外光学和光电等领域有着广泛的应用,包括热成像透镜、光......
化学机械抛光法是制作超光滑单晶硅镜片的常用工艺，抛光过程中的各类杂质粒子经常会导致加工表面产生划痕，降低镜片的表面质量。为系......
单晶硅元件作为集成电路制造中的基础材料,是半导体工业的核心与根基,其表面质量的高低直接影响着集成电路的整体性能。单晶硅材料......
微机电系统（Micro Electro-Mechanical Systems,MEMS）是一种尺寸达到微米甚至纳米量级的装置,在航空航天、通讯技术、生物医学以及国......
从过渡态理论在摩擦学领域得到应用以来,有关何种应力主导机械化学反应发生的争议一直存在,确定机械化学反应中的主导应力对推动机......
单晶硅是一种半导体材料,被广泛应用于微电子领域,传统加工手段主要以光刻技术、化学刻蚀为主,仅能加工2维或2.5维结构,相比之下,......
随着各种高新技术的发展,工业设备对零部件的要求越来越高,尤其是表面质量。近年来,各种硬脆材料以其优异的性能在航空航天、光学......
随着科学技术的快速发展,光滑或超光滑表面元器件在社会各个领域的需求与作用越来越大,在光学领域的标准中,用来反射与折射的光学......
制绒是太阳电池表面处理过程中不可或缺的环节,制绒效果的好坏直接决定了太阳电池光电转换效率的高低,而金字塔尺寸的大小与排列的......
随着光电对抗和超短脉冲激光技术的发展,研究超短脉冲激光与单晶硅相互作用具有非常重要的理论和实际意义.为了进一步明确532 nm皮......
单晶硅由于其红外透过率良好、折射率高、色散好、熔点高、导热性好、材料均匀性好、密度低、化学性质稳定等特点广泛应用于航空航......
X射线自由电子激光、红外激光系统作为重要的战略资源,其发展建设对国防具有重要意义。随着应用领域的拓宽和用户需求的提升,对激......
单晶硅是一种典型的脆性材料,在使用金刚石单点车削工艺对其进行纳米加工时,随着切削尺度的改变,单晶硅会存在脆性去除、脆塑转变......
碳化硅、单晶硅、蓝宝石以及光学玻璃等硬脆材料具有高硬度、高耐磨以及良好的化学稳定性和电学特性,广泛应用于现代装备和电子领......
多晶硅是电子信息产业和光伏新能源产业的基石。使用改良西门子法生产的多晶硅产量约占全球多晶硅总产量的80%。改良西门子法又称......
在全球信息化产业蓬勃发展的今天,集成电路至关重要,其与国家经济安全和社会发展密切相关,而单晶硅则是集成电路生产制造最重要的......
叉指背接触式(IBC)太阳电池因正面没有金属栅线遮挡,具有较高的短路电流,且组件外观更加美观.但由于IBC太阳电池正负电极在背面交......
以单晶硅为对象,使用波长355 nm、脉宽15 ns的纳秒激光对单晶硅进行烧蚀加工试验研究.基于单因素法设计并完成了单晶硅纳秒脉冲激......
硅基硬脆材料微小零件在航空航天、生物工程、微电子工业等尖端行业的应用及需求急剧扩大,同时对该类微小零件的功能结构、表面质......
单晶硅晶圆广泛应用于集成电路制造领域。超薄晶圆是实现硅通孔三维（TSV-3D）封装技术、提高芯片集成度的必要条件。超精密磨削凭借高......
为了满足人类视觉体验和传递再现真实的色彩信息,追求高性能和多功能的色彩显示成为了显示领域的目标之一。受到自然界中一些动植......
由于经济的迅速发展和生存环境的改变,寻求绿色、环保、可再生的替代能源是人类社会发展的必要条件。氢气是目前最理想的能源替代......
高能激光与单晶硅相互作用的研究在激光微加工、太阳能电池、光电探测器以及集成电路等应用领域有着重要的价值。目前,各类激光与......
微纳米压痕测试技术由于具有快速测试,精度高和无需专门制作试样等特点,已逐渐发展成为材料微区力学性能测试的一项主流技术。但随......
基于分子动力学角度,本文主要分析了单晶硅的纳米压痕过程,并尝试解释其瞬间原子位置、作用力变化以及其压痕过程等原理.经过笔者......
本文首先分析了平价上网对高效电池的需求，指出N型高效电池对单晶硅材料要求，高效单晶的挑战及解决措施，提出了未来光伏N型高效单晶硅......
随着集成电路工艺技术的高速发展，双面硅抛光片得到了越来越广泛的应用。有蜡贴片是双面硅抛光片加工过程中的关键工序。本文利用单......
单晶硅作为一种重要的非金属元素单晶材料,导热性能好,长时间、高质量服役性能优异,广泛应用于MEMS、太阳能电池以及红外探测器等......
利用脉冲触发信号在半导体中产生非平衡态载流子的方式，提出一种使用太赫兹连续源和超快速响应探头测量半导体少数载流子寿命的方法......
针对单晶硅柱面镜加工过程中面临的加工效率低、加工精度差以及表面质量难控等问题,提出采用离子束倾斜入射的方法来进行单晶硅柱......
单晶硅分光晶体作为同步辐射光源光束线单色器中常用的部件, 由于它对加工精度的要求越来越高, 所以减小加工过程中产生的残余应变......
