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双离子束溅射法制备铁氮薄膜
双离子束溅射法制备铁氮薄膜
来源 :功能材料 | 被引量 : 0次 | 上传用户:maria76
【摘 要】
:
使用双离子束溅射法制得了铁氮薄膜,随着基片温度的变化,薄膜的成分是ε-Fe2~3N、γ-Fe4N或是二相的混合物,薄膜的晶粒尺寸随基片温度的升高而增大.以振动样品磁强计(VSM)测定
【作 者】
:
甘肇强
诸葛兰剑
吴雪梅
姚伟国
罗经国
【机 构】
:
苏州大学物理系,天津理工学院光电信息与电子工程系
【出 处】
:
功能材料
【发表日期】
:
2001年5期
【关键词】
:
铁氮薄膜
磁性能
制备
双离子束溅射法
Ion beams
Magnetic properties
Sputtering
【基金项目】
:
江苏省重点实验室基金
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使用双离子束溅射法制得了铁氮薄膜,随着基片温度的变化,薄膜的成分是ε-Fe2~3N、γ-Fe4N或是二相的混合物,薄膜的晶粒尺寸随基片温度的升高而增大.以振动样品磁强计(VSM)测定了薄膜的磁性能.另外,研究了在基片温度为160℃时,改变主源中通入N2/Ar的比例对薄膜成分的影响.
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