离子束溅射法制备YBa_2Cu_3O_(7-x)超导薄膜

来源 :材料科学进展 | 被引量 : 0次 | 上传用户：owenm87

【摘要】

：

采用 YBa_2Cu_3O_(7-x)靶材,用离子束溅射法在多种衬底上得到了接近化学计量的YBa_2Cu_3O_(7-x)单相超导薄膜。 YBa_2Cu_3O_ (7-x) single phase superconducting thin film

【作者】

：

胡倾宇闻立时赵航炜乔桂文钱声伟于宝海杨巧勤庄育智

【机构】

：

中国科学院金属研究所,中国科学院金属研究所,中国科学院金属研究所,中国科学院金属研究所,中国科学院金属研究所,中国科学院金属研究所,中国科学院金属研究所

【出处】

：

材料科学进展

【发表日期】

：

1989年03期

【关键词】

：

离子束溅射 YBa_2Cu_3O 超导薄膜衬底薄膜超导材料超导性能化学计量择优取向磁控溅射法

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采用 YBa_2Cu_3O_(7-x)靶材,用离子束溅射法在多种衬底上得到了接近化学计量的YBa_2Cu_3O_(7-x)单相超导薄膜。 YBa_2Cu_3O_ (7-x) single phase superconducting thin films with near stoichiometry were obtained on YBa_2Cu_3O_ (7-x) substrates by ion beam sputtering.

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