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本文叙述了600℃低温液相外延和两相溶液法生长InGaAsP/InP超薄层及其特性研究。四元外延层的厚度、光荧光峰值半宽、过渡区陡度分别为～63nm,22.8meV,～11nm。四元层与衬底间失配度为+0.3‰。
液相外延生长InGaAsP超薄层
【摘 要】
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本文叙述了600℃低温液相外延和两相溶液法生长InGaAsP/InP超薄层及其特性研究。四元外延层的厚度、光荧光峰值半宽、过渡区陡度分别为～63nm,22.8meV,～11nm。四元层与衬底间失
【机 构】
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中国科学院上海冶金研究所,中国科学院上海冶金研究所上海200233,上海200233
【出 处】
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半导体光电
【发表日期】
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1993年3期
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