【摘 要】
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采用射频磁控溅射技术在Si O2衬底上制备了MgZnO合金薄膜,分别用X-射线衍射仪、紫外-可见分光光度计、荧光光谱仪分析了薄膜的结构、吸收特性和光致发光特性随Mg组分改变的影
【基金项目】
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吉林省教育厅“十二五”科学技术研究项目“II族氧化物半导体纳米合金非线性光学性能研究”（2013499）
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采用射频磁控溅射技术在Si O2衬底上制备了MgZnO合金薄膜,分别用X-射线衍射仪、紫外-可见分光光度计、荧光光谱仪分析了薄膜的结构、吸收特性和光致发光特性随Mg组分改变的影响.研究结果显示：所有MgZnO合金薄膜均表现为六角钎锌矿结构,（002）衍射峰峰位随Mg组分的增加向大角度方向移动;所有薄膜在可见区吸收较小且存在微小波动,而在紫外区出现强烈的带边吸收,且随Mg浓度增加吸收边蓝移;所有薄膜均存在较强的紫外发射峰,随着Mg组分的增加,发射峰峰值存在明显的向短波长方向移动.
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