碳化硅超级结肖特基二极管的研究

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【摘要】

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【作者】

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仲雪倩

【出处】

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浙江大学

【发表日期】

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2004年期

【关键词】

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碳化硅超级结肖特基二极管深槽刻蚀离子注入高温退火

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