【摘 要】
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场发射显示(FED)器件已逐渐成为平板显示家庭中重要一员,而作为FED的核心部分,场发射阴极阵列FEA也得到越来越广泛的研究,其中又以金属Spindt型FEA应用最为广泛.为了提高FEA
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场发射显示(FED)器件已逐渐成为平板显示家庭中重要一员,而作为FED的核心部分,场发射阴极阵列FEA也得到越来越广泛的研究,其中又以金属Spindt型FEA应用最为广泛.为了提高FEA发射电流的均匀性和稳定性,作者设计了一种新型FEA结构形式.该论文的主要工作是进行分布串联横向电阻FEA的研究,探索其制作工艺并实现FEA的初步发射.该论文的研究工作包括分布串联横向电阻FEA的结构方案的选择,掩模板的设计,FEA制备工艺的探索和实现,FEA发射测试,其中FEA制备工艺的探索和实现是该论文的主要内容.最后,作者实现了对角尺寸1英寸、32×32分辨率、单色、矩阵选址显示的FEA.
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