【摘 要】
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主要在研究真空微电子场致发射理论基础上;提出了台阶阵列、阴极-敏感薄膜新的机制;进行了计算机模拟场致发射计算和敏感薄膜厚度的模拟计算;进行了封装测试等工作;并且已经研制出真空微电子硅尖阵列-敏感薄膜复合型阴极的压力传感器,进行了实物的场致发射输出电流的测试和敏感薄膜压力特性的测试.
【机 构】
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中国科学院电子学研究所,国家传感技术重点实验室(北京)
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主要在研究真空微电子场致发射理论基础上;提出了台阶阵列、阴极-敏感薄膜新的机制;进行了计算机模拟场致发射计算和敏感薄膜厚度的模拟计算;进行了封装测试等工作;并且已经研制出真空微电子硅尖阵列-敏感薄膜复合型阴极的压力传感器,进行了实物的场致发射输出电流的测试和敏感薄膜压力特性的测试.
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