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热偶材料相关论文
微机械红外热堆探测器阵列
提出了一种利用微机械工艺制造的红外热堆探测器阵列,阐述了红外热堆探测器的结构、工作机理与工艺步骤.该探测器阵列用氮化硅与氧......
会议
微机械
红外热堆
阵列
介质复合膜
制作工艺
热偶材料
微机械非制冷红外热电堆探测器的研制
本文阐述了热电堆探测器的原理,利用ANSYS软件模拟了热电堆探测器的性能,阐述了采用微机械微机电方法制造热电堆探测的工艺过程,采......
会议
红外探测器
热偶材料
半导体薄膜
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