真空微电子相关论文
微型加速度传感器,特别是基于微机电系统（MEMS）的加速度传感器广泛应用于汽车安全、导航系统、航空航天、军事、空间微重力等核心领......
介绍了作者在真空微电子压力传感器研究方面所做的工作,以及最新研究进展和实验结果,并就真空微电子压力传感器的优点及其发展阐述......
主要在研究真空微电子场致发射理论基础上;提出了台阶阵列、阴极-敏感薄膜新的机制;进行了计算机模拟场致发射计算和敏感薄膜厚度......
在阳极膜上进行各项异性腐蚀硅深槽,采用外延方式生长多晶硅,进行填槽,再对表面进行化学机械抛光,实现了槽隔离的批量化生产.......
本文介绍了作者在真空微电子压力传感器研究方面所做的工作,以及最新研究进展和实验结果,并就真空微电子压力传感器的优缺点及其发......
利用各向同性腐蚀液制备了硅微尖阵列,并考察了各主要工艺参数对微尖形貌的影响
The silicon micro-tip array was prepared by i......
近年来,真空微空电子学的发展特别引人瞩目。真空微电子器件结合了电子的真空输运及大规模集成的微细加工技术,有着广阔的应用前......
本文详实介绍了真空微电子技术最近几年的发展动向并对其在若干领域的应用前景作了分析与讨论.
This article gives a detailed i......
本文综述了近年来引起广泛兴趣的金刚石和类金刚石薄膜场发射性能的研究进展.指出,由于金刚石薄膜制备条件和组织结构的不同,......
本文通过第四届国际真空电子学会在微波管方面的主要议题和讨论热点.介绍近年来国际微波管的发展现状,重点介绍了毫米波技术,微波......
本文提出了一种机关报型结构的真空微电子磁敏传感器。该传感器的阳极分为五个部分，可以检测出电子束流在磁场作用下的偏转，利用坐标......
本文提出了一种检测三维磁场的真空微电子磁敏传感器。该传感器采用Spindt阴极隈列作为电子源，阳极分为五个区域，以便检测发射电子在......
本文提出并研究了一种真空微电子压力传感器阵列和薄膜铂电阻温度传感器集成系统,通过计算机模拟进行了优化设计,完成了初步样品的......
具有聚集能力的、双层栅极场发射阵列是一种新型的高性能场发射阵列，是发展真空微电子微波、毫米波等器件的关键核心部件。但制备这......
力平衡式真空微电子加速度传感器的惯性敏感元件不仅受弹性力的作用,同时还受静电力的作用,其总刚度为机械刚度和由静电力引入的电......
真空微电子是和固体微电子相对而言的，其真实含义是将真空电子器件的尺寸做到微米级，与当时的半导体器件相当，并具有真空器件的独特优......
该文作者在纵观了机器人传感器技术,MEMS技术,真空微电子传感器技术的发展概况之后,认识到机器人传感技术的主要发展方向是由单一......
随着现代科学技术的发展,汽车、工业自动化、导弹等领域对加速度传感器提出了集成化、微型化、高性能等要求,开发各种新原理、新结......
真空微电子学是八十年代后期才发展起来的一门新兴学科,真空微电子器件兼有电真空器件和微电子器件的优点,在场发射平面显示器、微......
该文所研究的是真空微电子的一个分支—硅基场发射阵列,它具有工艺简单,易于控制,并且和IC工艺相兼容的特点,是真空微电子研究领域......
真空微电子压力传感器是一种新型的压力传感器，具有灵敏度高、温度稳定性好、体积小、抗辐射、制备过程与汇工艺相兼容等优点，在航空......
该文提出了将真空微电子技术应用于显示器件的新思路,即用在玻璃上腐蚀出的按矩阵方式规则排列的规则小也完成传统显示器件中的由......
本论文着重探讨和研究了基于碳纳米管阴极的场发射压力传感器，完成了器件的整体制作，并对器件的发射性能作了测试。场发射压力传感器......
由于碳纳米管具有优良的机械和电学性能，已成为了世界各国科学家研究的热点。在碳纳米管的电学性能中，一个最重要的性能就是具有极其......
基于MEMS技术的真空微电子加速度传感器是高精度MEMS加速度传感器的新探索，该加速度传感器具有体积小、灵敏度高、抗辐射、可批量生......
真空微电子器件因具有耐高温、响应快、功率大、适合大规模生产、集成化等优点，在军事和民用工业中发挥了重要的作用，其核心是场发射......
真空微电子加速度计基于隧道效应而工作,其内部固有的低频噪声(如1/f噪声)大大降低其信噪比,而且也是影响精度和线性度的主要因素.......
对真空微电子三极管、四极管进行了计算机模拟。模拟结果显示了发射电流与场致增强因于依赖表面的尖端半径、尖端高度等几何因素，并......
真空微电子加速度计基于隧道效应而工作,其内部固有的低频噪声（如1/f噪声）大大降低其信噪比,而且也是影响精度和线性度的主要因素。......
简要介绍场致发射与真空微电子的一般情况,尔后着重介绍应用真空微电子原理制作的场发射平板显示器(FED)。......
对真空微电子三极管，四极管进行了计算机模拟。模拟结果显示了发射电流与场致增强因子依赖表面的尖端半径，尖端高度等几何因素，并对微......
CdSe是研制高灵敏真空微电子平板摄像管光导靶材材料,在CdSe靶材的结晶过程中Se气氛对形成完整的晶格结构起了至关重要的作用.介绍......
提出了一种检测三维磁场的真空微电子磁敏传感器。该传感器采用Ｓｐｉｎｄｔ阴极阵列作为电子源，阳极分为五个区域，以便检测发射电子在磁场作用下......
通过保角变换方法，对具有椭圆锥形发射体的真空微电子二极管进行了研究，求得了二极管区域内电位分布和电场分布的解析表达式，进而得到......
利用薄膜边缘场发射阴极设计的三极管、阴极、栅极和阳极是平面结构，因此极间电容小，适合应用于高速和高频电路。它在工艺上与半导体......
阐述了真空微电子触觉传感器的工作原理。采用半导体集成电路加工技术和硅微各向异性腐蚀及氧化锐化工艺，在电阻率为３￣５Ω·ｃｍ的ｎ型（１００）硅......
真空微电子管特性的计算机模拟刘杰明，李志能，陈秀峰，李翔（浙江大学信息与电子工程学系）关键词：真空微电子，有限元近十年来，真空微电子学迅......
本文回顾了近十年来，真空微电子在材料（硅、金属、砷化镓和金刚石膜）、制备工艺、阴极结构及应用等方面的进展。并详细介绍一些新阴极......
介绍真空微电子传感器的研究和发展概况,着重叙述了真空微电子压力传感器和真空微电子磁传感器的发展,并就其研究、发展和应用前景......
分析了采用真空微电子技术的微带放大器,该放大器可能在频率高达1THz下输出功率1～50W。说明了实际设计的限制因素,包括栅控场发射微......
研究了一种新型真空微电子氢气传感器,其原理为气体在高电压激发下发射出与其吸收光谱相同的特征光谱.用微机械加工方法在硅片上加......
