微型多道光谱分析仪用750位CMOS阵列探测器

来源 :第五届全国微米/纳米技术学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:liuhaoyingying
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介绍了一种光谱分析用的高灵敏度、高分辨率CMOS阵列探测器.这种阵列探测器采用了有源像元单元电路作前级放大器,用相关双采样(CDS)电路减小噪声.文中给出了初步的实验结果.
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提出了应用纳米粉体用作无机非金属功能晶体生长原料的探索性的实验研究路线,并概述了这种方法预计可以提高晶体质量等等优越性及其开发应用前景.同时介绍了用溶胶-凝胶法合成低温相偏硼酸钡纳米粉体的制备结果,以及从中得出的一些关于其形成硬团聚和对晶体生长影响的一些初步结论.
利用直径φ2mm的微型马达作为执行器,研制了一种外形尺寸为8mm×6mm×6mm微型机器人.通过对包容结构的扩展,提出一合理的控制结构应用于微型机器人.该控制结构将规划控制和行为控制相结合,利用它们各自的特点来构造微型机器人控制系统.该控制系统既有存储、记忆功能,又能对外部环境的刺激快速响应,同时具有一定的容错能力和柔性.仿真和实验表明该混合控制方法对微型机器人系统很有效.
以体积材料硬度和显微硬度测量与评定原理为基础,介绍了纳米压入法MEMS材料硬度的测量与评定原理.根据纳米压入法MEMS材料硬度的测量原理,对纳米压入仪中的产生硬度测量误差的因素进行了分析.针对Vickers压头,给出了测量仪器、压头和压头与试样表面初始接触点引起的测量误差计算公式.
研究提出了在不同温度和湿度条件下,DAVIES杆进行微结构动态特性研究的新方法,即,将微结构和一个弹性杆—DAVIES杆置于一个温湿度可调节的环境发生器中,微结构粘贴在DAVIES杆的一端,用高速子弹撞击DAVIES杆的另一端,根据应力计所测应力及应力波在杆内传播的理论模型,可以精确获得微结构所受到的脉冲激励,微结构的响应利用激光位移干涉仪测量,通过输入与输出的拉氏变换,求出微结构的动态响应.文章
阐述了MEMS器件测试的现状,提出了一种基于虚拟仪器和传统仪器相结合的MEMS器件加工过程在线监测系统.该系统能对MEMS器件的结构形状进行监测,能对MEMS器件的基本性能参数进行测量.系统通用性和可扩充性好,具有较好的工程实用价值.
描述了基于硅基微加工技术,用深层刻蚀工艺制造栅距可变的光栅的方法.该光栅具有加工艺简单,栅距均匀可调等优点,可望用于光通讯用红外滤波器.利用形状记忆合金执行器来驱动,其连接机构简单,易于控制,衍射实验结果表明折射角最大变化率可达0.35mrad.
TiNi形状记忆合金薄膜微驱动器是微机电系统(MEMS)中研究应用的一个重要方向.对于富Ti薄膜,由于其R相变的热滞极小,有助于改善驱动膜的频响特性.本文采用常规微细加工的方法制备了这种具有R相变的TiNi/Si复合泵膜,并对其工作特性进行了测试.研究表明:TiNi薄膜的R相变可以作为微驱动器的驱动源,并可实现较高频率的驱动(166Hz);另外,加热电流和驱动频率对泵膜的驱动性能均有显著影响.
针对两类三轴硅加速度传感器,文中从结构、工作机理到制作工艺过程都作了详尽的剖析.从公布的测试结果来看,多质量三轴技术所受限制较少,易满足大量程、抗干扰的要求;而单质量三轴设计体积优化,适合小量程或是对异轴灵敏度要求较底的场合.
主要论述了一种具有温度补偿的新型高精度、高过载复合硅加速度计的结构及工作原理,并对研制这种集成加速度计的关键工艺艺以及与之集成的CMOS电路部分进行了探讨.
提出一种新型的由静电驱动的微型操控系统,可用来夹持50~200μm的微粒.文中阐述了用碳纤制做微型镊子的过程,对其电压-位移进行测定,对该系统进行理论模拟计算.本文中的碳纤维微型镊子臂在电压加到208V时突然合拢,与理论值230V基本相符.