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介绍真空微电子传感器的研究和发展概况,着重叙述了真空微电子压力传感器和真空微电子磁传感器的发展,并就其研究、发展和应用前景阐述了个人的观点.
真空微电子传感器研究及进展
【摘 要】
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介绍真空微电子传感器的研究和发展概况,着重叙述了真空微电子压力传感器和真空微电子磁传感器的发展,并就其研究、发展和应用前景阐述了个人的观点.
【机 构】
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中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室
【出 处】
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机械强度
【发表日期】
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2001年4期
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