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RF MEMS开关技术是指通过微加工方式制造生产,微机械手段操作使用的射频开关技术,广泛应用于国防、军事、商业等诸多领域,一直是国际研究热点。早在1999年,Ka波段MEMS开关技术的研究就被美国国防部列入了重点攻关计划。美、俄、欧已相继开展了RF MEMS开关技术的军事应用,并不断投入经费进行开关性能优化研究,以进一步强化相关武器装备。