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本文介绍了电子束缩小投影成像曝光机的计算机控制系统,重点介绍了其系统结构、各部分指标参数.
电子束缩小投影成像曝光机控制系统
【摘 要】
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本文介绍了电子束缩小投影成像曝光机的计算机控制系统,重点介绍了其系统结构、各部分指标参数.
【机 构】
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中国科学院电工研究所(北京)
【出 处】
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第十一届全国电子束、离子束、光子束学术年会
【发表日期】
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2001年6期
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