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该文介绍了微机械薄膜和各向异性腐蚀的理论和特点，对ＳｉＮ〈，ｘ〉平膜和纹膜着重进行了理论分析，叙述了微型薄膜加工方法和试验结果。
微机械薄膜的加工技术
【摘 要】
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该文介绍了微机械薄膜和各向异性腐蚀的理论和特点，对ＳｉＮ〈，ｘ〉平膜和纹膜着重进行了理论分析，叙述了微型薄膜加工方法和试验结果。
【机 构】
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部十三所(石家庄)
【出 处】
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第十一届全国半导体集成电路、硅材料学术会议
【发表日期】
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1999年期
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