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本文介绍了一种基于MEMS技术,采用静电致动原理,通过多晶硅表面微机械加工工艺设计、加工的硅微继电器.文中还给出了具体设计结构、加工工艺、技术参数等.
静电致动硅微继电器研究
【摘 要】
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本文介绍了一种基于MEMS技术,采用静电致动原理,通过多晶硅表面微机械加工工艺设计、加工的硅微继电器.文中还给出了具体设计结构、加工工艺、技术参数等.
【机 构】
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华北工学院(山西太原)
【出 处】
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中国兵工学会第10届测试技术研讨会
【发表日期】
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2000年期
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