纹膜相关论文
该文介绍了微机械薄膜和各向异性腐蚀的理论和特点，对ＳｉＮ〈，ｘ〉平膜和纹膜着重进行了理论分析，叙述了微型薄膜加工方法和试验结果。......
眼下,不少单位为给员工打考勤,都安装了指纹考勤机,这让很多交通不方便的上班族“咬牙切齿”。“今天,我在网上下单购买了一个指纹......
许多高性能微传感器和微执行器的实现都离不开高灵敏度的薄膜.使用微机械加工方法制备的薄膜一般有着不可忽视的残余应力.残余应力......
本文介绍了微机械薄膜和各向异性腐蚀的理论和特点，对Ｓｉ３Ｎ４平膜和纹膜着重进行了理论分析，叙述了微型薄膜的设计方法和试验结果。......
本文研究了硅表面微机械加工薄膜的形成工艺及技术。通过调整各种薄膜生长、掺杂以及退火的条件,得到了较低的薄膜残余应力(LPCVD......
