多晶硅表面微机械相关论文
本文介绍了一种基于MEMS技术,采用静电致动原理,通过多晶硅表面微机械加工工艺设计、加工的硅微继电器.文中还给出了具体设计结构......
该文根据热传导原理分析了横向驱动多晶硅热执行器阵列的温度分布;根据结构力学建立了热执行器阵列的宏模型;计算了执行器阵列的偏转......
多晶硅表面微机械技术是微机电系统(Microeletromechanical Systems,MEMS)中重要的加工技术.本文采用这种加工技术,提出了一种基于......