微机械光开关及阵列的研究与发展

来源 :第四届全国微米/纳米技术学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:shishuhu45
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微机械光天关是光通信网实现光纤到户的关键器件.本文首先回顾了微机械光天关及其阵列的应用背景和现状,对微机械光天关及其阵列进行了分类;并对其结构与工作原理进行了分析;最后,并对其结构设计进行了探讨.
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