朗缪尔双探针相关论文
利用朗缪尔双探针对电子束蒸发镀膜装置反应室的等离子体参数进行诊断.绘制等离子体的双探针伏安特性曲线，计算出电子温度和等......
在现代的半导体行业当中，低温等离子体技术常常被应用于基片刻蚀、薄膜生长以及表面改性等等方面。容性耦合等离子体源相对于感应耦......
低温等离子体工艺已经被广泛应用于微电子、印刷电路板封装、材料处理、航空及医学工业等工业领域。在实际生产中，随着被处理样品尺......
使用朗缪尔双探针诊断方法,研究放电极板配置和放电参数对13.56 MHz容性耦合等离子体的电子温度、电子密度和电子能量密度分布的影......
本文利用朗缪尔双探针对电弧离子镀等离子体进行了诊断。双探针具有收集电流小的优点（小于离子饱和电流），可以避免探针在高密度电弧离......
潘宁过程可以有效地降低直流、低频放电中的放电起始电压。关于射频放电，特别是表面波等离子体中的潘宁过程的研究，目前还很少有报道......
为了诊断低温等离子体的电子温度，利用光纤光谱仪测量了直流辉光放电条件下圆柱形放电管中氖气的发射光谱，采用玻耳兹曼图法计算出低......
根据朗缪尔双探针诊断方法,设计了一个等离子体特性自动测量系统,给出了系统设计的原理和实现过程。系统由电源电路、ARM控制器、F......
通过使用扫描发射光谱仪和朗缪尔双探针的测量方法研究了40.68MHz的射频驱动的N2容性耦合等离子体的不均匀性。发现在高气压和高输......
为了深刻理解微波电子回旋共振（ECR）等离子体的物理机制、瞬态过程以及空间分布特性，首先利用光栅光谱仪对ECR氮等离子体发射光谱进行......
采用朗缪尔双探针法对低温氮等离子体进行了诊断分析,得到了氮等离子体的电子密度和电子温度。通过朗缪尔双探针研究了不同射频功......
在核聚变研究中,大功率强流中性束注入是主要的等离子体二级加热手段。射频离子源由于其寿命长、可靠性强、易维护等特点,成为国际......
利用朗缪尔双探针对磁场条件下辉光放电等离子体特性进行的实验研究,获得了在磁场作用下直流辉光放电区探针的伏安特性曲线,其变化......
电弧离子镀是一种优良的薄膜沉积技术,有着其它镀膜形式不可比拟的优点:如高的离化率,高的沉积速率和良好的膜基结合强度等,利用这......
采用TCP等离子体辅助电子束蒸发沉积技术，在室温条件下的玻璃基片上制备了纳米结构的氮化钛薄膜．运用X衍射技术对该薄膜进行表征．利用......
