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质子交换膜电解水(PEMWE)是一种高效、环保的制氢方法。该技术需要大量的贵金属作为催化剂,极大的限制了其工业化发展。本文采用电......
本文采用Pd-Ag合金体系作为氢气敏感材料,通过光刻,真空溅射镀膜和真空电子束蒸发镀膜等微加工方法制作Pd-Ag微芯片型氢气传感器.......
蒸发速率是电子束蒸发制备光学薄膜的重要工艺参数之一。本文就基于计算机的电子束蒸发镀膜速率自动控制进行了研究。主要内容包括......
镶嵌在二氧化硅介质中的纳米晶硅(nc-Si/SiO2)因机械强度高，发光稳定性好，制备工艺与集成电路制备工艺相兼容，所以具有广阔的应用前景......
超导约瑟夫森结是实现超导量子比特的基本元件，了解和掌握它的宏微观量子特性是应用它实现量子比特运算的必需条件。我们是国内最早......
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利用Langmuir探针诊断方法,得到了放电气压0.1Pa、射频13.56MHz、功率200W、加速栅压-200V和减速栅压+85V条件下,电子束蒸发镀膜反......
期刊
以传统Salisbury屏电磁吸波结构为基础,引入阻抗型频率选择表面(Frequency Selective Surfaces)对其进行了改进设计,采用等效电路......
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