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利用朗缪尔双探针对电子束蒸发镀膜装置反应室的等离子体参数进行诊断.绘制等离子体的双探针伏安特性曲线，计算出电子温度和等离子体密度.结合光谱测量分析了气压、射频功率对其参数的影响.研究了等离子体的分布规律.结果表明：A.离子源口的离子密度大，分布不均匀，远离的离子密度小但是分布均匀适合蒸镀；B.在低气压下，离子密度随气压增加而缓慢增加，电子温度逐渐减小；C.离子密度随射频功率增大而增大，电子温度几乎不受影响.获得了优化的等离子体工艺条件.