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根据朗缪尔双探针诊断方法,设计了一个等离子体特性自动测量系统,给出了系统设计的原理和实现过程。系统由电源电路、ARM控制器、FPGA、FIFO、高速ADC及USB控制器构成,可以提供等离子体测量所需的特定工作电压、实现对等离子体I-V特性数据的同步测量,并可以对测量数据进行准确的高速传输。分析系统所采集数据得到了准确的等离子体I-V特性、等离子体电子温度和离子密度。