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软硬过渡点相关论文
厚度形态误差下静电驱动微梁谐振器的力学性能研究和优化设计
随着社会的飞速发展以及生活水平的不断提高,人们对微机电系统(MEMS)器件的需求越来越大。相比于传统机电系统,MEMS器件具有体积小......
学位
MEMS
微谐振器
厚度形态误差
吸合效应
非线性振动
有限元仿真
软硬过渡点
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