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为提高激光直写调焦系统的稳定性和响应速度，从弹性力学角度出发，对调焦执行机构微动台进行了力和位移关系的建模，并全面分析了其动态......
具有三自由度的微位移器的组成为：掺Sr和Mn的PZT制成的厚度为0．15mm的二个同心圆环，用有机胶水紧密地粘贴在一个铜圆片上，铜片的中央焊......
介绍了一种电磁悬浮微驱动器的工作原理；针对磁悬浮微驱动器的运动特点，提出了一种基于最大值原理的模糊PID微驱动控制方法，对每种控......
压电陶瓷驱动电源是压电陶瓷微位移器应用中的关键部件。文章提出了一种新的压电陶瓷驱动电源结构，并开发研制了新的压电陶瓷驱动电......
利用压电陶瓷逆压电效应研制成功了精密可控误差补偿微位移器。经试验测试，其静动态特性均达到理想程度，可以作为执行件用在刀具磨损......
随着信息技术领域的高速发展,高效与节能型微电机成为发展趋势。综述了近年高效节能型微电机方面的研究进展,指出影响效率的主要因......
微光机电系统(MOEMS)是在微机电系统(MEMS)基础上发展起来的一种新技术系统,它是由微光学、微电子和微机械相结合而产生的一种新型......
介绍了一种新型的液压式微进给装置。在模型简化的基础上，给出进给装置结构设计公式，利用有限元软件ANSYS对结构变形进行分析，并在此......
研究了超磁致伸缩微位移致动器的非线性动力学特性,分析了碟簧非对称分段线性刚度对微位移致动器动力学特性的影响,基于理论分析计......
提出一种新型三自由度微机器人的机械结构及其控制系统。微机器人的机构具有三轴一体、体积小和内藏传感器等特点。计算机仿真和实......
提出了一种基于CPLD控制的多路电流方向快速转换的新方法，解决了电磁悬浮式微驱动器的磁场同步跟随问题，实现了微动平台的同步跟随运......
本文提出一种新型三自由度微机器人的机械结构及其控制系统。微机器人的机构具有三轴共体、体积小和内藏传感器等特点，其控制器的鲁......
光热膨胀材料的光谱特性是影响微型光热驱动机构性能的关键因素,该文在理论分析的基础上,采用单积分球测量法对四种聚合物材料的反......
针对磁场同步跟随式磁悬浮微驱动器,构建了新型的集驱动、测量和控制于一体的磁悬浮微驱动器定位系统。设计了一套以DSP为核心的硬......
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本文提出了一种新的非接触式，高灵敏度微致动器同矩动态测试方法，以非接触测量代替接触测量，改间接测量为直接测量，最大限度地减少中间......
A novel 4 by 4 array of electromagnetic micro-actuators operating on the principle of voice-coil actuators is presented.......
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利用电流变液体的电压－粘性－刚性特性设计的柔性微执行器，具有可控性好、易于操作等特点。本文介绍了电流变液体柔性微执行器的操纵机......
介绍了硬盘磁头中的压电薄膜微致动器，用层合梁理论分析了微致动器的致动原理，得出了致动力与压电薄膜层数成正比。用有限元软件对粘......
A review on the research of Micro Electromechanical Systems (MEMS) technology based biomimetic cilia is presented. Biomi......
