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为提高激光直写调焦系统的稳定性和响应速度，从弹性力学角度出发，对调焦执行机构微动台进行了力和位移关系的建模，并全面分析了其动态响应特性，动态特性分析为PID调节提供了理论依据。在PID校正中着重加强微分超前调节作用，缓解了系统相位滞后的问题，从而使系统得到较好的稳定度和响应速度。通过激光直写试验验证调焦系统的调焦精度为0．2μm。