微桥结构相关论文
依托半导体生产线开发了基于MEMS微桥结构的微测辐射热计（Micro-Bolometer）器件，其中：使用化学气相沉积（CVD）技术开发了非晶硅（α-Si）薄膜......
The critical technology for fabrication of the micro-bridge structure based on amorphous silicon (a-Si) films is studied......
在室温太赫兹探测技术领域中, 热敏微桥结构的太赫兹探测器具有探测波段宽、阵列规模大、集成度高、实时成像等显著特点。文中对室......
研制出一种新型微桥结构的氧化钒非制冷红外焦平面探测器.该微桥结构采用列相邻像素共用桥腿的方式,极大地增加了桥腿长度,减小热......
基于微机械加工技术发展起来的电阻阵列是动态红外景物产生器的一种。它可在半实物（HWIL）仿真系统中用来对红外摄像机、导弹寻的器以......
太赫兹波与其它波段的电磁辐射相比具有瞬态性、宽带性、低能性、穿透性等很多独特的性质。太赫兹探测技术在爆炸物探测、军用通信......
非制冷焦平面红外探测器(UFPA)微桥结构的使用，大大降低了探测器热量的损耗，从而提高了探测器的响应度。由于氮化硅薄膜具有低热导、......
纳米材料由于其空间尺寸与电磁波波长、德布罗意波波长等物理性质参数达到相同数量级甚至更低，导致自身光、电、磁等物理性能与块体......
介绍了硅微桥结构的传热物理模型及其理论计算方法.提出一种厚膜像元尺寸为360μm×360μm,具有“桌形”绝热框架支撑的微桥结构像......
根据热释电薄膜红外探测器的结构和实际的测试条件,利用有限元软件ANSYS建立了不同结构组成的热释电薄膜红外探测器的二维模型,并......
介绍了研制中的测辐射热计的工作原理，器件结构的几何形状和研制状况，叙述了测辐射热计材料的特征及制备技术。......
微测辐射热计的设计难点是起支撑作用的微桥结构的设计．重点研究了现在流行的几种微桥结构，对其性能参数进行分析比较，提出了多层结构......
研究了牺牲层制备的工艺过程。通过对牺牲层材料选择、牺牲层图形化及牺牲层固化等工艺技术的研究，获得了图形质量较好的牺牲层样品......
采用微加工技术制作测辐射热计阵列时，部分微桥可能发生结构变形，使阵列的性能下降甚至无法正常工作。采用有限元分析方法，对在热膨胀......
本文研究了红外探测器中红外焦平面列阵的象元——铁电薄膜微桥在红外辐射作用下的输出信号。用层合板壳作为微桥结构的力学模型，中......
介绍了硅微桥结构的传热物理模型及其理论计算方法。提出一种星膜像元尺寸为360μm×360μm，具有“桌形”绝热框架支撑的微桥结......
本文研究了红外探测器中红外焦平面列阵的象元——铁电薄膜微桥在红外辐射作用下的输出信号。采用层合板作为力学模型，将铁电薄膜微......
介绍了测辐射热汁的工作原理、器件结构的几何形状和研制状况,叙述了测辐射热计材料的特性及制备技术.......
本发明提供一种红外探测器，它包括一个列阵，列阵中的每个像元都有一个微桥结构。在上述微桥结构中有一片与衬底隔开的膜片，它是由一种......
研究了红外探测器中红外焦平面列阵的泉元——铁电薄膜微桥在红外辐射作用下的输出信号。用层合板壳作为微桥结构的力学模型，中间一......
非制冷红外焦平面探测器(Uncooled infrared focal plane detector array,IRUFPA)具有成本低、体积小、重量轻、无需制冷等优点,在......
薄膜磁电传感器具有功耗低、体积小、易集成等优点,在微弱磁场探测等诸多领域表现出良好的应用前景。传统的单元薄膜磁电传感器在......
提出了一种基于微机械工艺的新型复合微桥膜结构,由低应力SiN/SiO2 (0.5μm/50nm)及Cr/Au(30nm/1μm)构成.相应的工艺流程较为简单......
太赫兹波（THz）的波长介于红外和微波波段之间,具有高宽带、高穿透性、瞬态性等独特性质。随着太赫兹技术的发展,太赫兹探测在成像、......
利用KOH溶液腐蚀结合SF6气体干法刻蚀工艺制备了锆钛酸铅（PbZr0.3Ti0.7O3，PZT）厚膜热释电红外探测器，得到了器件Si基背面完全悬空的微......
采用新工艺在氮化硅衬底上制备了室温时电阻温度系数为-0.021K-1的氧化钒薄膜,以此为基础,利用光刻和反应离子刻蚀工艺在硅衬底上......
研究了红外探测器中红外焦平面列阵的象元-BST铁电薄膜微桥在红外辐射作用下输出信号的分析方法．将BST铁电薄膜微桥结构简化为一块......
超表面是一种特殊的人工电磁材料,具备在纳米数量级对入射光进行高度多样化操纵的能力。近年来,超表面由于其强大的光场操控能力引......
自上世纪九十年代以来,非致冷红外成像技术取得了重大突破,引发了红外技术的第三次革命。与前两代致冷型光子红外探测器相比,第三......
本文以高纯金属钒作为靶材，采用磁控溅射工艺制备氧化钒薄膜。并分析了溅射功率，基片温度和溅射气氛等对薄膜方阻值的影响。分析表明......
动态红外景物模拟系统由于能够在实验室内对红外探测系统的动态性能进行测试与评估而受到国内外的重视。该系统的关键器件是红外景......
非制冷红外探测器的发展是从20世纪80年代开始的,因其具有成本低、无需制冷、可靠性高、可集成、工艺兼容性好等优点,在民用和军用......
微测辐射热计型非制冷红外探测器以其易携带、性能卓越、成本低廉等优点，具有广泛的军事和民用前景。然而，微测辐射热计长期以来采用......
微测辐射热计非制冷红外探测器具有体积小、重量轻以及成本低的优点,在民用以及军事领域有着广泛的应用。微桥是微测辐射热计阵列......
根据实验室设计的单层微测辐射热计所采用的Si3N4和SiO2双层膜复合支撑结构工艺，分别利用力学的等效截面方法和复合材料热导公式，从......
根据微加工条件能够制造的单层和双层结构的非制冷红外微测辐射热计的尺寸，进行了有限元建模与分析，寻找出在可接受的性能与成本之间......
