随着现代焦平面技术的进一步发展,单波段热成像技术的发展越来越完善,但由于单波段技术只能在唯一的波段工作,使得它受到很大的局限性。在军事领域中,许多目标都会进行伪装,这样就会使得红外探测器在获取信息方面存在偏差(如信息的减弱或波段的移动等),这些信息偏差都会影响探测器的准确性和可靠性。而双波段红外探测器能够同时在3-5μm和8-14μm两个波段内获取目标物体的信息,它能有效地避免虚警等现象,使探测结果更准确。本文针对双波段红外探测器的波长可调结构进行研究,通过IntelliSuite软件对波长可调结构的电力学性能进行了仿真。确定了波长可调结构的工艺流程和材料基本参数,并完成结构的版图设计。分析比较了不同桥腿形状及桥腿宽度对器件的力学性能的影响,以获得最优的波长可调结构。对于双波段红外探测器单元阵列,评价其性能的一个重要光学参数是器件表面的红外吸收率。论文通过Matlab软件比较了多层膜系各层厚度对其影响,尤其是牺牲层和Si3N4钝化层对红外吸收率的影响,比较得到最优膜厚方案。论文介绍了半导体制备工艺的基本理论,对光刻工艺、光刻胶厚度、均匀性及留膜率进行了探索,优化了工艺参数,初步完成了双波段红外探测器波长可调结构的制备。并将制备好的器件进行划片测试,利用共聚焦显微镜和扫描电镜对释放后的器件的形貌和平整度进行观察测试,比较不同微桥结构下可动桥面的形变,优化双波段红外探测器的性能。