微型流量传感器相关论文
由我院自动化系李兴副教授等人承担的科研项目“具有温度高灵敏度的微型传感材料研究” ,于２０００年４月２８日通过了天津市科委组织并主持的专......
使用深掺杂方法在Si材料中掺入Au原子后，其电阻率随温度T的变化关系从主要依赖于T－3/2项的浅掺杂材料变成主要依赖于exp(－E/KT)项的深......
目的 研究微型管道的流量测量技术 .方法 采用热膜技术 ,在石英玻璃棒上镀一层铂电阻膜 ,利用激光将铂膜蚀刻成特定的形状 ,形成......
使用深掺杂方法在 Si材料中掺入金原子后 ,其电阻随温度 T的变化关系由主要依赖于 T- 3/ 2 项的浅掺杂材料变成主要依赖于 exp( -E......
使用深掺杂方法在Si材料中掺入Au原子后，其电阻率随温度T的变化关系从主要依赖于T^-3/2项的浅掺杂材料变成主要依赖于exp(-E／KT)项的......
使用深掺杂方法在Ｓｉ材料中掺入金原子后，其电阻随温度Ｔ的变化关系由主要依赖于Ｔ＾－３／２项的浅掺杂材料变成主要依赖于ｅｘｐ（－Ｅ／ＫＴ）项的深掺杂材料，从而大幅度......
用一种深掺杂硅材料制成的微型流量传感器来测量呼吸气流的测量，并用信号处理电路对微型流量传感的输出进行鉴别，就可以监视呼吸系统......
文中提出了一种基于恒温差的热式空气流量计的设计方法。该流量计采用微型流量传感器、集成测速铂电阻和测温铂电阻,能够有效补偿......
流量测量是工业生产和科研工作的重要的检测参数.近年来,随着对微电子机械系统(MEMS)的深入研究和取得的进展,传统的工业和流体力......
流量一直是生产和科研领域重要的测量参数,它的测量对流体系统的控制有着重要的意义。随着微机械加工工艺的进步,微型流量传感器的......
相比于传统的流量传感器,微型流量传感器具有体积小、功耗低、对微小流量测量灵敏度高等特点。文中依据传热学原理设计并研制了一......
