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单面硅微机械加工工艺相关论文
单芯片单面硅微机械加工的压差式微型流量传感器的研究
流量一直是生产和科研领域重要的测量参数,它的测量对流体系统的控制有着重要的意义。随着微机械加工工艺的进步,微型流量传感器的......
学位
单面硅微机械加工工艺
微型流量传感器
(111)硅片
压阻
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