深掺杂Si反常电阻效应微型流量传感器

来源 :南开大学学报(自然科学版) | 被引量 : 1次 | 上传用户：lixin200513137149

【摘要】

：

使用深掺杂方法在 Si材料中掺入金原子后 ,其电阻随温度 T的变化关系由主要依赖于 T- 3/ 2 项的浅掺杂材料变成主要依赖于 exp( -E/ KT)项的深掺杂材料 ,从而大幅度地提高了掺金 Si材料对温度的敏感性 .在理论上深掺杂 Si材料比浅掺杂 Si材料对温度的敏感性提高了约 1 0 0 0倍 .用深掺杂方法制成的微型流量传感器特性的测量证明了以上理论 .深掺杂 Si材料的应用不但提高了

【作者】

：

李兴梁家昌 Hunderson Therman

【机构】

：

天津职业技术师范学院自动化系!天津,300222,中国民航学院基础科学部!天津,300300,Department of Electrical and Computer Engineering,Uni

【出处】

：

南开大学学报(自然科学版)

【发表日期】

：

2000年03期

【关键词】

：

微型流量传感器 Si的深掺杂惠斯登电桥响应时间

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