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研制了一种基于微机电系统(MEMS)技术的微型阵列式推进器,并开发了记录其点火过程的音频采集系统。该推进器利用金属溅射、体硅干法刻蚀等工艺制作点火电阻和燃烧室,完成了点火电阻、引线以及焊盘的一体化加工,利用硅一玻璃阳极键合工艺完成燃烧室和点火电阻的封装,并采用硅微麦克风捕获点火过程产生的音频信息。结果表明:MEMS阵列式推进器尺寸为8.8mm×8.8mm,采用5V低电压供电实现推进器点火,功率约为900mW,由捕获的音频信息可知,点火过程大约持续了40μs。作为皮卫星的有效载荷,满足飞行任务需求