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晶相βＣ３Ｎ４薄膜的制备是近年来材料物理学的一个重要课题．采用微波增强等离子体化学气相沉积的方法，成功地制备了基本上均匀、连续、致密的βＣ３Ｎ４晶相薄膜．晶粒的氮碳含量比正好为４∶３，并且其（１００）面平行于Ｓｉ（１００）的表面．拉曼谱中在２５０ｃｍ－１和３０２ｃｍ－１处出现二个特征峰
晶相β-C3N4薄膜的制备
【摘 要】
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晶相βＣ３Ｎ４薄膜的制备是近年来材料物理学的一个重要课题．采用微波增强等离子体化学气相沉积的方法，成功地制备了基本上均匀、连续、致密的βＣ３Ｎ４晶相薄膜．晶粒的氮碳含量比正好为４∶
【机 构】
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北京科技大学材料物理系,中国科学院凝聚态物理中心
【出 处】
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物理
【发表日期】
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1997年08期
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