【摘 要】
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本文叙述了用计算机控制的椭偏仪测量单轴非吸收薄膜(如氧化钽、氧化钨等)光学参数的方法,包括系统结构、椭偏仪校准、阳极化容器设计、窗口误差校正、以及动态测试步骤。
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本文叙述了用计算机控制的椭偏仪测量单轴非吸收薄膜(如氧化钽、氧化钨等)光学参数的方法,包括系统结构、椭偏仪校准、阳极化容器设计、窗口误差校正、以及动态测试步骤。
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