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用消光式椭圆偏振仪测薄膜的椭圆偏振光谱
用消光式椭圆偏振仪测薄膜的椭圆偏振光谱
来源 :物理 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xjc132
【摘 要】
:
我们提出一种简便宜行的测试方法,即利用固定波长下的消光椭圆偏振仪中补偿器材料的色散曲 线计算对不同波长的光产生的位相差,实现可变波长的消光椭圆偏振测量.以Si-SiO2膜为例测椭圆
【作 者】
:
张淑芝
【机 构】
:
山东大学光学系
【出 处】
:
物理
【发表日期】
:
1989年2期
【关键词】
:
薄膜
椭圆偏振光谱
偏振仪
硅
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我们提出一种简便宜行的测试方法,即利用固定波长下的消光椭圆偏振仪中补偿器材料的色散曲 线计算对不同波长的光产生的位相差,实现可变波长的消光椭圆偏振测量.以Si-SiO2膜为例测椭圆 偏振光谱和理论计算,两者结果一致。
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