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为弥补压电陶瓷微位移器件伸长量过小的缺陷,设计了一种结构紧凑、无传动间隙、无附加位移耦合的柔性铰链微位移放大器,以满足大行程纳米定位的需要. 详细讨论了柔性铰链放大器的工作原理、设计方法和加工技术关键.
柔性铰链放大器的设计与加工技术
【摘 要】
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为弥补压电陶瓷微位移器件伸长量过小的缺陷,设计了一种结构紧凑、无传动间隙、无附加位移耦合的柔性铰链微位移放大器,以满足大行程纳米定位的需要. 详细讨论了柔性铰链放大
【机 构】
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北京工业大学机械工程与应用电子技术学院
【出 处】
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北京工业大学学报
【发表日期】
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2001年2期
【基金项目】
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国家自然科学基金
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