【摘 要】
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２００２０１００３７用于显示的基于微电机械系统的干涉调制器＝MEMS－basedinterferometricmodulatorfordisplayapplica－tions犤英犦／MilesMW∥Proc．SPIE．—１９９９．３８７６－２０～２８２００２０１００３８微电机械系统毫米波无线电收发机的结构＝MEMSmi
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２００２０１００３７用于显示的基于微电机械系统的干涉调制器＝MEMS－basedinterferometricmodulatorfordisplayapplica－tions犤英犦／MilesMW∥Proc．SPIE．—１９９９．３８７６－２０～２８２００２０１００３８微电机械系统毫米波无线电收发机的结构＝MEMSmil－limeter
2002010037 MEMS-based interferometric modulator for display = MEMS-based interferometricmodulatorfordisplayapplica- tions 犤 英 犦 / MilesMW // Proc. SPIE. -1999.3876-20 ~ 282002010038 Structure of Millimeter Wave Radio Transceiver in MEMS = MEMSmil-limeter
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I
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