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微型电子机械系统
微型电子机械系统
来源 :国际学术动态 | 被引量 : 0次 | 上传用户:mcdonaldz
【摘 要】
:
在微小尺寸范围内,将机械可划分为1~10mm的小型机械,1μm~1mm的微型机械,以及1nm~1μm的纳米机械。所谓微型电子机械系统(Micro Electro Mechanical System,MEMS),从广义上包含
【出 处】
:
国际学术动态
【发表日期】
:
1999年3期
【关键词】
:
微型电子机械系统
微型机械
纳米机械
尺寸范围
小型机械
微型化
机械工程
微小
划分
广义
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在微小尺寸范围内,将机械可划分为1~10mm的小型机械,1μm~1mm的微型机械,以及1nm~1μm的纳米机械。所谓微型电子机械系统(Micro Electro Mechanical System,MEMS),从广义上包含小型、微型和纳米机械,但并非机械的单纯微小化,它集微型机械、
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