微型电子机械系统

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在微小尺寸范围内,将机械可划分为1~10mm的小型机械,1μm~1mm的微型机械,以及1nm~1μm的纳米机械。所谓微型电子机械系统(Micro Electro Mechanical System,MEMS),从广义上包含小型、微型和纳米机械,但并非机械的单纯微小化,它集微型机械、
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