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近年来，采用集成电路制造工艺生产的衍射和折射微镜等微光学元件日益受到重视，由于此项技术，器件微型化使得很多电光系统发生了革命性的变化——从摄录相机，可视电话和光盘存贮到机器视觉，光学扫描器，以及高分辨率投影显示仪，这些微光学系统采用的关键技术。
微型光电机械系统（1）
【摘 要】
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近年来，采用集成电路制造工艺生产的衍射和折射微镜等微光学元件日益受到重视，由于此项技术，器件微型化使得很多电光系统发生了革命性的变化——从摄录相机，可视电话和光盘存贮到
【出 处】
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光机电信息
【发表日期】
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1995年4期
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