【摘 要】
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本文用Ｃ－Ｖ法、金相腐蚀法、Ｘ光电子谱（ＸＰＳ）、俄歇电子谱（ＡＥＳ）研究ＧａＡｓ表面硫钝化膜和激光辐照硫化的效果．
In this paper, C-V method, metallographic etching method, X-ray photoelectron sp
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本文用Ｃ－Ｖ法、金相腐蚀法、Ｘ光电子谱（ＸＰＳ）、俄歇电子谱（ＡＥＳ）研究ＧａＡｓ表面硫钝化膜和激光辐照硫化的效果．
In this paper, C-V method, metallographic etching method, X-ray photoelectron spectroscopy (XPS), Auger electron spectroscopy (AES) study of GaAs surface sulfur passivation film and laser irradiation curing effect.
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