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本文用Ｃ－Ｖ法、金相腐蚀法、Ｘ光电子谱、俄歇电子谱研究ＧａＡｓ表面硫钝化膜和激光辐照硫化的效果。
Ar^＋激光辐照对GaAs（100）表面硫钝化的影响
【摘 要】
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本文用Ｃ－Ｖ法、金相腐蚀法、Ｘ光电子谱、俄歇电子谱研究ＧａＡｓ表面硫钝化膜和激光辐照硫化的效果。
【机 构】
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复旦大学物理系
【出 处】
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半导体学报
【发表日期】
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1994年8期
【基金项目】
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国家自然科学基金
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