Ta_2O_5薄膜MOS型湿敏元件的机理研究

来源 :电子学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：dbbzy

【摘要】

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使用直流磁控反应溅射的工艺方法制备了Ta2O5薄膜MOS型湿敏元件，提出了元件的结构模型，并对其感湿机理进行了讨论． The Ta2O5 film MOS humidity sensor was prepared by DC ma

【作者】

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刘云峰陈国平张浩康

【机构】

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东南大学电子工程系!南京,210096,东南大学电子工程系!南京,210096,东南大学电子工程系!南京,210096

【出处】

：

电子学报

【发表日期】

：

1998年05期

【关键词】

：

MOS Ta_2O_5 湿敏元件反应溅射表面电阻结构模型空穴浓度晶粒间膜电极价带

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使用直流磁控反应溅射的工艺方法制备了Ta2O5薄膜MOS型湿敏元件，提出了元件的结构模型，并对其感湿机理进行了讨论． The Ta2O5 film MOS humidity sensor was prepared by DC magnetron reactive sputtering process. The structural model of the device was proposed and the humidity sensing mechanism was discussed.

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