【摘 要】
：
本文介绍用离子辅助淀积法制作的Ta_2O_5和Al_2O_3薄膜的特性。测量了用不同的离子能(300、500及1000eV)和离子流密度(0～200μAcm~(-2)轰击制作的膜的折射率和消光系数。
Thi
论文部分内容阅读
本文介绍用离子辅助淀积法制作的Ta_2O_5和Al_2O_3薄膜的特性。测量了用不同的离子能(300、500及1000eV)和离子流密度(0～200μAcm~(-2)轰击制作的膜的折射率和消光系数。
This article describes the characteristics of Ta_2O_5 and Al_2O_3 thin films fabricated by ion-assisted deposition. The refractive index and extinction coefficient of the films fabricated with different ion energies (300, 500 and 1000 eV) and ion current densities (0-200 μA cm -2) were measured.
其他文献
无位错区熔(氢)硅单晶通过轻水堆中子辐照,然后热处理,再经化学腐蚀,将观察不到氢致φ型缺陷,全部代之以氢沉淀。金相和扫描电镜观察氢沉淀呈丘状小凸起。图像分析表明,氢沉
9901柳是菏泽市常青花木科技有限公司经过多年究,从近百个旱柳天然杂交实生苗中选出的柳树优良新品种,它具有生长快、树形美、绿期长等诸多特点,既可用于园林绿化,又适宜进行
开关电容滤波器(SCF)在集成电路中占有极为重要的地位,它具有集成度高,设计精度高,温度稳定性好,并可采用成熟的MOS工艺实现等优点,为了提高电路设计的效率和准确性,计算机辅
本文叙述交流薄膜电致发光显示(ACTFEL)的一些基础问题,如荧光层,绝缘层的要求与工艺,器件的简单模型和特性分析,并介绍发展水平与动向.
This article describes some of th
本文阐述了一种能实现二阶低通,高通和带通功能的可编程开关电容滤波器新结构.
This article describes a new structure for a programmable switched capacitor filter th
本文简述了小电流晶闸管台面钝化工艺的改进和实验结果.
This article briefly describes the improvements and experimental results of the passivation process of smal
本文讨论了GaAs缺陷研究中化学原理的应用,并举例予以说明。内容包括缺陷间的化学平衡,反应物质浓度的影响,反应产物“沉淀”的影响,应变作为另一个影响平衡的参数等。最后讨
本文介绍了一种根据状态转换图直接设计时序电路的实用方法。此方法具有许多优点,特别适用于多个输入和多个状态的情况。
This article presents a practical way to direct
书评工作很重要,它不仅是学术争论的重要方式之一,而且还有政治上的意义。是好书,还是坏书?需要大家来评论。文艺界比医药界在这方面就做得好,不仅书评多,而且同一书籍的评