【摘 要】
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针对金属氧化物半导体（MOS）材料对炼化场景常见有毒有害气体（H2S、CH4、H2）普遍存在的交叉响应问题，设计、制备了基于WO3纳米线与SnO2纳米颗粒的传感器阵列，并搭建测试平台，运用多种机器学习算法处理传感器阵列对H2S、CH4、H2的响应数据。实验结果表明，1号、2号、4号、5号传感器组成的阵列在2次SVM条件下气体种类定性准确率达到99.6%,CH4与H2混合气体10层神经网络定量误差分
【机 构】
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中石化安全工程研究院有限公司化学品安全控制国家重点实验室
【基金项目】
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国家自然科学基金项目（21908249）,多相微反应器内限域结构影响下的气泡形变与破裂机理研究；
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针对金属氧化物半导体（MOS）材料对炼化场景常见有毒有害气体（H2S、CH4、H2）普遍存在的交叉响应问题，设计、制备了基于WO3纳米线与SnO2纳米颗粒的传感器阵列，并搭建测试平台，运用多种机器学习算法处理传感器阵列对H2S、CH4、H2的响应数据。实验结果表明，1号、2号、4号、5号传感器组成的阵列在2次SVM条件下气体种类定性准确率达到99.6%,CH4与H2混合气体10层神经网络定量误差分别小于5%与0.1%。
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