论文部分内容阅读
介绍了一种新颖的磁性传感器阵列,它由制作在硅板上的MOS霍尔器件和控制单元构成.文中详述了该传感器的工作原理、制造工艺及测试结果.实验结果表明该传感器是一种高灵敏度、有实用潜力的器件.
MOS霍尔传感器阵列
【摘 要】
：
介绍了一种新颖的磁性传感器阵列,它由制作在硅板上的MOS霍尔器件和控制单元构成.文中详述了该传感器的工作原理、制造工艺及测试结果.实验结果表明该传感器是一种高灵敏度、
【机 构】
：
哈尔滨工业大学自动化测试与控制系,日本国东京大学
【出 处】
：
电子测量与仪器学报
【发表日期】
：
2001年1期
其他文献
针对铁路和风电行业中大量大齿圈工件尺寸较大、其周向和径向不能同时进行磁化探伤、工件探伤率受到限制和影响的状况,设计了适用于大齿圈工件磁粉探伤机的新型磁化装置。该