本文采用恒电位法制备了钛酸、钒酸和钒钛酸修饰的薄膜湿敏材料，通过光学显微镜观察，钒钛酸成膜性较好。钒酸和钒钛酸两种薄膜在相对湿度11%～97%的范围内，具有一定的湿敏特性，但湿滞较大，感湿特性需进一步改善和提高。采用原位化学氧化法和恒电位法制备了聚苯胺，其中恒电位法制备的聚苯胺表现出较好的湿敏性能，同时该方法与原位法相比具有工艺简单、快速的优点，具有工业化应用前景。利用盐酸、钛酸、钒酸、钒钛酸对聚苯胺进行掺杂，并对其湿敏性能进行研究，探讨了掺杂作用对本征态和掺杂态聚苯胺的湿敏性能的影响。结果表明，采用恒电位法电化学聚合聚苯胺的同时原位掺杂的钒钛酸，湿敏元件在整个湿度范围内电阻变化约3个数量级左右，曲线灵敏度较高，线性度较好，元件的湿滞约为5%RH，响应和恢复速度均很快，是一种湿敏性能较好的新型湿敏材料。